(中央社訊息服務20251231 16:18:08)淡江大學化學學系陳志欣教授研究團隊以「半導體製程氣態分子污染物之即時監測系統」，榮獲第22屆國家新創獎環境科技與能源應用類「學研新創獎」。該獎項由社團法人國家生技醫療產業策進會主辦，為國內生醫與大健康領域具指標性的創新獎項之一，旨在鼓勵前瞻技術研發與創新應用。該校研究發展處鼓勵具備技轉潛力的學研團隊參展，提升研究成果能見度，促進產學合作與技術落地。 陳志欣指出，半導體製程對氣態分子污染物極為敏感，尤其微量氨氣（NH₃）可能影響製程穩定性與晶片良率。現行常用的捲帶式監測設備不僅體積大、成本昂貴，限制了布建數量與彈性。「我們團隊在與產業交流過程中發現，業界亟需兼具高靈敏度、低成本與可量產特性的替代方案，以滿足ppb等級的即時監測需求。」 本次獲獎團隊由化學系博士後研究員何宗洋、黃致為及在學學生組成，聚焦微量氨氣即時偵測，開發結合專一性變色試紙、嵌入式光學讀取模組與演算法分析，能將顏色變化即時轉換為濃度數據。相較市售系統多仰賴進口耗材、偵測極限停留於ppm等級，且維護與擴充成本偏高。該系統可自行製備高靈敏度試紙，並採模組化設計，降低導入門檻，提升場域部署彈性與監控解析度。 在感測核心材料方面，團隊從化學分子結構出發，利用分子碰撞引發的結構與電子分布改變，設計可在極低濃度下，對特定半導體製程氣體污染物產生高度選擇性且劇烈顏色反應的變色試紙，作為即時監測系統的關鍵感測元件。 目前團隊已完成染料配方設計、演算法驗證及原型機建構，並與半導體設備商及感測應用單位合作進行測試與評估，朝商品化與國產替代目標邁進。未來亦將透過更換試紙配方，拓展監測至磷化氫（PH₃）、砷化氫（AsH₃）等具腐蝕性或毒性的氣體，建構多點、分散式的智慧氣體監控平台。 陳志欣感謝學校對新創產業的支持，「此次獲獎不僅肯定團隊跨域整合的研究成果，也有助於加速與產業及投資端的對接，未來將持續強化系統可靠度與量產設計，讓關鍵監測技術在國內扎根，協助半導體製程提升良率、降低風險，並強化供應鏈韌性。」淡江潘伯申研發長鼓勵校內師生在專利研發之餘，積極思考產業創新連結，創造產學合作的雙贏契機。